工業廢氣處理設備氣體吸附過程通常由下步驟組成：
1.吸附，已經進到微孔表面的吸附質分子被固體所吸附。從噴涂車間產生的廢氣，由凈化系統的吸氣罩捕捉經管道進入吸附床，再經活性炭纖維進行高效凈化，經處理后的氣體由風機經排氣筒排出，凈化后氣體達標排放。
2.外擴散，吸附質分子由氣相主體到吸附劑顆粒外表面的擴散；
3.內擴散，吸附質分子沿著吸附劑的孔道深入到吸附劑內表面的擴散。