這是以VOC廢氣處理設備實際技術狀態為基礎的預防維修方式。一般采用設備日常點檢和定 期檢査來查明設備技術狀態。針對設備的劣化部位及程度，在故障發生前，適時地 進行預防維修，排除故障隱患，恢復設備的功能和精度。
實行這種維修方式時，如采用精密監測診斷技術判斷設備技術狀態，亦稱預知維修。
狀態監測維修方式的主要優點是：既能使設備經常保持良好狀態，又能充分利 用零件的使用壽命。